更新時(shí)間：2025-04-23
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機(jī)一，Spinner Motor中空軸電機(jī)的特點(diǎn)1、中空軸高速電機(jī)結(jié)構(gòu)：額定轉(zhuǎn)速：5000rpm，最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm2、超快的加速/減速時(shí)間；3、低噪音、低震動(dòng)、軸端跳動(dòng)系數(shù)低至；4、軸孔采用真空空心軸設(shè)計(jì)，軸端的設(shè)計(jì)，確保chunk運(yùn)行平穩(wěn)5、電機(jī)功率:750W，采晶圓刻蝕固晶設(shè)備APM-HE30ACH大中空電機(jī)晶圓清
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LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機(jī)
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LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機(jī)
一、Spinner Motor中空軸電機(jī)的特點(diǎn)
1、中空軸高速電機(jī)結(jié)構(gòu)：額定轉(zhuǎn)速：5000rpm，最大轉(zhuǎn)速6000-8000rpm
2、超快的加速/減速時(shí)間；
3、低噪音、低震動(dòng)、軸端跳動(dòng)系數(shù)低至；
4、軸孔采用真空空心軸設(shè)計(jì)，軸端的設(shè)計(jì)，確保chunk運(yùn)行平穩(wěn)
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機(jī)
韓國(guó)LS Spinner馬達(dá)，空心軸伺服電機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓電鍍，涂膠、去膠、顯影、清洗、固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測(cè)等設(shè)備中。部分型號(hào)如下：
1；中空軸伺服電機(jī)
100W APM-HB01AAH 增量式編碼器
200W APM-HB02AAH 增量式編碼器
400W APM-HB04AAH 增量式編碼器
900W APM-HE09ACH 增量式編碼器
900W APM-HE09ACH-TA 增量式編碼器
1.5KW APM-HE15ACH 增量式編碼器
APM-HE15AN0H-ZC01 單圈20位編碼器
3KW APM-HE30ACH 增量式編碼器
APM-HE30AN0H-ZC01 單圈20位編碼器
2;Spinner馬達(dá)
250W APM-HB03HBH-CD
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
250W APM-HB03HBH-CD1
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
250W APM-HB03HBH-GY
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
250W APM-HB03HBH-SH01
4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
600W APM-HC06HBH
6寸 8寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
650W APM-HC06ACH-ZC03
8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
750W APM-HC07ACH-WN01
8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
750W APM-HC07HCH-100 8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
1.1KW APM-HE11DCH 防腐蝕，8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設(shè)備應(yīng)用。
LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機(jī)
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